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半导体芯片生产可以说是制造业的皇冠,而光刻机就是皇冠上的明珠,EUV光刻机则是明珠之光,其设计之复杂远超一般工业设备。目前EUV光刻机只有荷兰ASML公司能够生产,Q3季度他们交付了7台EUV光刻机,但获得了23台EUV光刻机订单,每台价格超过1亿欧元。
ASML公司今天发布了2019年Q3季度财报,当季营收29.87亿欧元,同比增长7.6%,运营利润13.07亿欧元,净利润6.27亿欧元,与去年同期的6.8亿欧元有所下滑,不过这主要是今年Q3季度的研发支出增加了25%。
今年Q3季度中,台积电已经开始量产EUV工艺,所以ASML公司的EUV交付及订单也创了记录,当季交付了7台EUV光刻机,同时获得了23台EUV光刻机的订单量,创造了历史最高水平,算上其他光刻机,ASML手握的订单总额高达51亿欧元。
ASML最新的EUV光刻机是NEX:3400C型号,已经达到了量产标准,Q3季度中交付的7台EUV光刻机中有3台是NEX:3400C,Q4季度中预计交付8台EUV光刻机,总价值高达9.5亿欧元,平均每台价格达到了1.2亿欧元,折合人民币9.4亿元,堪称人类最昂贵的设备了。
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